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产品详细/Detailed

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光学薄膜测厚仪

产品名称:

光学薄膜测厚仪

产品型号:
产品简介:

详细说明

品名与型号:光学薄膜测厚仪CHD-TG100

一、仪器应用领域:

1)湿膜、胶状膜厚度检测,半导体,手机触摸屏镀膜,ITO镀膜厚

2)干膜、硬涂层厚度检测。

3)玻璃、塑料、凝胶、光刻胶、电介质厚度检测。

4)汽车工业中薄膜、光油、底漆厚度检测。

5)医疗设备中药囊、药品覆膜、包装薄膜厚度检测。

6)光伏产业中透明导电氧化膜、减反射膜厚度检测。

7)食品包装中卷式薄膜、液体隔离膜厚度检测。

二、仪器测试原理:

1.外部光路结构:

1)光从光源发出,经过光纤导到反射探头打出,聚焦在在样品上。

2)薄膜上下表面都会产生反射光,如下图所示:

3)两种反射光由反射探头采集,并由另一根光纤导入到分光结构,进行光谱排列。

2.光谱分光原理:

光从光纤入射,经处理,由光栅衍射,将复色光分成不同角度的单色光,再经过镜片将每个波长的单色光汇聚在线阵CCD上。

CCD测量出入射光的干涉条纹:

3.厚度计算:

1)如下图所示:

在折射率为n1的基板上镀有复数折射率为η,厚度为d的一层薄膜,放在折射率为n0的空间。假定薄膜的复折射率η=n+ik,当一束光以幅度A从n0空间垂直入射(θ=0)到膜表面时(为便于分析,图中入射光由一定角度,实际测量中此角度很小,对测量的影响可以忽略不计),由于多次反射,在膜表面有一系列反射光,他们幅度分别为A1,A2,A3……。

我们可以得到反射率公式:

方程的极值出现在4πnd/λ=mπ,其中m=0,1,2,3……

可以推出厚度公式:

4.测量谱图:

通过光谱软件,将样品放置于检测位置,可以得到反射率谱线,如下图所示:

再经过软件内部处理,得到干涉条纹的极大值和极小值。得到极值后再通过厚度公式,即可算出膜层厚度。

三、 样品要求:

1、薄膜在200-1100nm内的某一波段可部分透光。

2、基底表面和薄膜表面平整光洁。

四、 仪器参数:

厚度范围: 0.015-100 μm(特定范围可设定)
光谱范围: 380-1100 nm(特定可设定)
精度: 0.05 μm 或3%
分辨率: 0.001μm
重复性: 0.02 μm
重现性: 0.05 μm
厚度单位: μm
重量单位: gsm
主机尺寸: 300x223x130 mm
主机重量: 8.8 kg
探头 1.5米Y型光纤探头
探头支架尺寸: φ200x214 mm
探头支架重量: 1.5 kg
电源: 220V/50Hz
数据输出: 软件保存到数据库或RS232输出
样品尺寸: 直径大于10mm

五、仪器外观:

光学薄膜测厚仪


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时间:2018/5/31 0:00:00

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